光热偏转光谱技术开发及其在半导体薄膜缺陷分析中的应用

    益阳纳昇材料科技有限公司开发国内首套具有完全自主知识产权的全自动高精度光热偏转光谱系统，该系统的核心性能指标已经达到了国际领先水平，最小偏转校准角度0.1°，光谱分辨率10nm，检测灵敏度可达四个数量级 。该光谱仪能够实现对半导体材料中杂质分布的精确识别、缺陷位置的准确定位以及缺陷态的精准量化分析，为高性能半导体材料制造提供坚实基础。