先进制程用稀有金属氯化物半导体新材料进口替代国产化新技术

企业:湖南省华京粉体材料有限公司       
    项目简介:华京材料自主开发的先进制程用稀有金属氯化物半导体新材料,是为了满足目前国内半导体前驱体企业攻关先进制程用的核心原材料,典型产品是四氯化铪和二氯二氧化钼。其中四氯化铪作为未来45-7nm存储芯片的主要前驱体有机铪的原料,已经被国内核心半导体前驱体厂家认证合格,并取得千万级采购订单;二氯二氧化钼是未来小于10nm的芯片制程用的钼前驱体原料,是属于世界领先水平的技术,该前驱体原料还要大量出口,是填补国内和世界空白的原料。项目创新性:该项目具有较强的原创性,稀有金属氯化物是目前半导体材料市场非常关键的原料,而氯化物材料是芯片关键工艺的关键原料。华京材料历时15年的技术攻关,终于在氯化物的产品纯度和活性方面达到国际先进水平,顺利实现芯片工艺的部分关键原料国产化目标。目前取得国家授权发明专利23项。产品的品质方面,以四氯化铪产品为例,华京产品已超越法国和俄罗斯,与美国平行;以高纯二氯二氧化钼为例华京产品目前可以实现99.9999%纯度,但是目前国际上其他竞争对手最高是日本的99.999%的纯度,所以华京二氯二氧化钼产品稳居国际第一的水平。此外就是产品的活性,华京产品有效成分都可以实现99%以上,相关行业竞品都很难超过99%。