精密光学卧式双面磁控溅射镀膜装备

企业：湘潭宏大真空技术股份有限公司

针对精密光学镀膜关键技术被国外技术封锁，重点开发双面镀膜技术，运用ICP离子源等关键核心技术，实现双面镀膜一次成型，成膜溅射速率增加3-4倍以上，技术达到全球领先水平，打破国外技术垄断，加速国内相关产业发展。